การควบคุมด้วยระบบลมและอุปกรณ์ขับเคลื่อนอัตโนมัติ
ในสายการผลิตวงจรรวม อุปกรณ์ที่มีระบบอัตโนมัติสูงถือเป็นหัวใจสำคัญ ลมอัดในฐานะอากาศสะอาดและแห้งถูกนำมาใช้อย่างแพร่หลายเป็นแหล่งพลังงานสำหรับอุปกรณ์นิวเมติก โดยขับเคลื่อนวาล์วนิวเมติก กระบอกสูบนิวเมติก และแขนกลชนิดต่าง ๆ เพื่อให้มั่นใจว่าแผ่นเวเฟอร์จะถูกขนส่งและจัดวางตำแหน่งได้อย่างแม่นยำในทุกขั้นตอนของการผลิต เนื่องจากมีความเร็วในการตอบสนองสูงและทำงานได้อย่างราบรื่น อากาศอัดจึงสามารถรักษาความคงที่ของรอบการผลิตและประสิทธิภาพการทำงานของอุปกรณ์ได้อย่างมีประสิทธิภาพ
การรักษาสภาพแวดล้อมในห้องสะอาดและการควบคุมมลพิษ
การผลิตวงจรรวมจำเป็นต้องดำเนินการในห้องปลอดฝุ่นที่มีมาตรฐานสูงอย่างยิ่ง ระบบอากาศอัดช่วยรักษาสภาพแวดล้อมภายในห้องโดยการจ่ายอากาศที่ผ่านการกรองอย่างเข้มงวดเข้าสู่ห้องปลอดฝุ่นอย่างต่อเนื่องสถานะความดันบวกเล็กน้อยสภาพแวดล้อมที่มีแรงดันบวกเช่นนี้สามารถป้องกันอากาศและอนุภาคขนาดเล็กจากภายนอกที่ไม่ผ่านการกรองไม่ให้แทรกซึมเข้าสู่พื้นที่ผลิตได้อย่างมีประสิทธิภาพ นอกจากนี้ ในการบำรุงรักษาอุปกรณ์หรือการปรับปรุงเฉพาะจุด อากาศอัดยังถูกใช้เพื่อการแยกพื้นที่ชั่วคราวและการควบคุมการไหลของอากาศ เพื่อป้องกันการปนเปื้อนข้าม
การเป่าทำความสะอาดและกระบวนการทำให้แห้งบนพื้นผิวของแผ่นเวเฟอร์
ภายหลังกระบวนการล้างแบบเปียกและการขัดด้วยเคมี–กลไกของแผ่นเวเฟอร์ ผิวหน้าจะยังคงมีของเหลวหรืออนุภาคขนาดเล็กตกค้างอยู่ อากาศอัดที่มีแรงดันสูงและสะอาดเป็นพิเศษถูกนำมาใช้เพื่อการล้างพื้นผิวเพื่อขจัดอนุภาคขนาดเล็กที่ติดอยู่ ขณะเดียวกัน ในกระบวนการอบแห้งเฉพาะรูปแบบ การใช้ลมอัดร่วมกับสื่ออื่น ๆ สามารถเร่งการระเหยและการหลุดลอกของความชื้นบนพื้นผิวแผ่นเวเฟอร์ได้อย่างรวดเร็ว ช่วยป้องกันไม่ให้คราบน้ำตกค้างส่งผลกระทบเชิงลบต่อกระบวนการลิเทาะห์หรือการกัดกร่อนในขั้นตอนถัดไป
ก๊าซสำหรับเครื่องมือวัดและอุปกรณ์ควบคุม และการสนับสนุนกระบวนการผลิต
ภายในโรงงานเซมิคอนดักเตอร์มีเครื่องมือวัดและอุปกรณ์วิเคราะห์ที่มีความแม่นยำสูงจำนวนมาก ลมอัดช่วยให้เครื่องมือและอุปกรณ์เหล่านี้ได้รับแรงดันที่เสถียรแหล่งกำเนิดพลังงานลมและก๊าซป้องกัน เพื่อให้มั่นใจถึงความแม่นยำของข้อมูลการวัด ในกระบวนการช่วยเหลือบางขั้นตอนที่ไม่สำคัญ เช่น การระบายความร้อนภายในอุปกรณ์ การขับเคลื่อนเครื่องมือลม และการเป่าล้างพร้อมทดสอบแรงดันของระบบท่อ ลมอัดก็ยังคงมีบทบาทที่ไม่อาจทดแทนได้เช่นกัน
มาตรฐานคุณภาพของอากาศอัด
เนื่องจากวงจรรวมมีความไวต่ออนุภาคขนาดเล็กและความชื้นอย่างยิ่ง ลมอัดที่ใช้ในสายการผลิตจึงจำเป็นต้องผ่านมาตรฐานคุณภาพที่เข้มงวด โดยทั่วไปจะต้องติดตั้งระบบกรองแบบหลายขั้นตอน เพื่อกำจัดน้ำมัน ความชื้น และอนุภาคขนาดไมครอนออกจากอากาศ อากาศ…จุดน้ำค้างของความดันต้องควบคุมให้อยู่ในระดับต่ำมากเพื่อป้องกันการเกิดไอน้ำควบแน่นภายในท่อหรืออุปกรณ์ เทคโนโลยีการอัดอากาศแบบไร้น้ำมันและอุปกรณ์ทำให้แห้งที่มีประสิทธิภาพสูง ถือเป็นองค์ประกอบพื้นฐานในการรับประกันความปลอดภัยของการผลิตวงจรรวม
ยังไม่มีความคิดเห็นยินดีต้อนรับสู่การคว้าโซฟา ~