ในกระบวนการใดของบริษัทเยว่หมอเซมิคอนดักเตอร์ที่ต้องใช้เครื่องอัดอากาศแบบไม่มีน้ำมัน

ข้อกำหนดด้านคุณภาพอากาศในสาขาเซมิคอนดักเตอร์และการบรรจุหีบห่อขั้นสูง

ในโครงการผลิตเซมิคอนดักเตอร์สมัยใหม่และการบรรจุหีบห่อขั้นสูง ความสะอาดของสภาพแวดล้อมการผลิตและความบริสุทธิ์ของก๊าซถือเป็นปัจจัยหลักที่กำหนดอัตราผลตอบแทนของผลิตภัณฑ์ ตัวอย่างเช่น ในสายการผลิตบรรจุหีบห่อขั้นสูงอย่างยูเอ็มเอส เซมิคอนดักเตอร์ คราบน้ำมัน ความชื้น หรืออนุภาคเพียงเล็กน้อยก็อาจก่อให้เกิดข้อบกพร่องบนพื้นผิวของเวเฟอร์หรือชิป ซึ่งนำไปสู่ความเสียหายที่ไม่สามารถแก้ไขได้ ดังนั้น ระบบสนับสนุนโรงงานเมื่อจ่ายอากาศอัดจำเป็นต้องใช้เครื่องอัดอากาศแบบไร้น้ำมันอย่างเข้มงวด เพื่อให้มั่นใจว่าแหล่งกำเนิดอากาศจะเป็นไปตามมาตรฐานไร้น้ำมันระดับศูนย์

ขั้นตอนกระบวนการหลักที่จำเป็นสำหรับเครื่องอัดอากาศแบบไร้น้ำมัน

ในกระบวนการผลิตทั้งหมดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์และการบรรจุหีบห่อขั้นสูง ขั้นตอนสำคัญหลายประการมีความต้องการอากาศอัดไร้น้ำมันที่เข้มงวดและเคร่งครัด ดังนี้:

• ระบบปรับอากาศและระบบอากาศภายนอกสำหรับห้องสะอาดห้องสะอาดสำหรับอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์จำเป็นต้องรักษาความดันบวกและระดับความสะอาดในขั้นสูงมาก ชุดบำบัดอากาศภายนอกและหน่วยกรองพัดลมต้องการแหล่งจ่ายอากาศที่เสถียรในการทำงาน หากอากาศอัดมีส่วนผสมของน้ำมัน จะทำให้เกิดการปนเปื้อนโดยตรงต่อตัวกรองประสิทธิภาพสูง และส่งผลเสียต่อสภาพแวดล้อมภายในห้องสะอาด
• การขับเคลื่อนด้วยชิ้นส่วนนิวเมติกสำหรับอุปกรณ์ความแม่นยำ: อุปกรณ์หลัก เช่น เครื่องลิเธียกราฟี เครื่องติดชิป และเครื่องเชื่อมลวดนำไฟฟ้า ภายในประกอบด้วยวาล์วและกระบอกสูบลมที่มีความแม่นยำสูงจำนวนมาก อากาศอัดไร้น้ำมันสามารถป้องกันการสึกหรอ การติดขัดภายในของชิ้นส่วนระบบลม รวมถึงการเสื่อมสภาพของซีล ทำให้มั่นใจได้ถึงความแม่นยำและความเสถียรภาพสูงอย่างยิ่งในการทำงานของอุปกรณ์
• ระบบการลำเลียงและการกวนสารเคมีในกระบวนการแปรรูปและบรรจุหีบห่อแผ่นเวเฟอร์ จำเป็นต้องใช้สารเคมีบริสุทธิ์สูงจำนวนมาก เมื่อใช้อากาศอัดในการลำเลียงหรือกวนสารเคมี หากแหล่งอากาศมีน้ำมันปนเปื้อน จะทำให้สารเคมีเกิดการปนเปื้อน ส่งผลโดยตรงต่อประสิทธิภาพของกระบวนการกัดกร่อน การทำความสะอาด หรือการชุบไฟฟ้า
• ขั้นตอนการบรรจุหีบห่อและการทดสอบคัดแยกขั้นสูงในกระบวนการผลิตขั้นสูง เช่น การบัดกรีแบบอินไลน์ (Flip Chip) และการบรรจุหีบห่อระดับเวเฟอร์ อุปกรณ์ขนถ่ายวัสดุและอุปกรณ์ทดสอบคัดแยกต่าง ๆ ล้วนพึ่งพาหัวดูดแบบใช้ลมและแขนกลเป็นอย่างมาก อากาศอัดที่ปราศจากน้ำมันช่วยป้องกันคราบน้ำมันเกาะติดบนผิวหน้าของชิป ทำให้มั่นใจได้ว่าหัวตรวจวัดในการทดสอบมีการสัมผัสที่ดี และรักษาความสะอาดของรูปลักษณ์ภายนอกของการบรรจุหีบห่อ

บทบาทสำคัญของเครื่องอัดอากาศแบบไร้น้ำมันในระบบบริการโรงงาน

การใช้เครื่องอัดอากาศแบบไร้น้ำมันไม่เพียงเป็นทางเลือกเชิงรับที่ตอบสนองความต้องการด้านกระบวนการเท่านั้น แต่ยังเป็นกลยุทธ์เชิงรุกในการยกระดับความปลอดภัยของการผลิตโดยรวมอีกด้วย การขจัดมลพิษจากน้ำมันตั้งแต่ต้นทาง ช่วยให้ผู้ประกอบการลดความถี่ในการบำรุงรักษาและค่าใช้จ่ายในการเปลี่ยนไส้กรองด้านท้ายได้อย่างมาก ขณะเดียวกัน อากาศไร้น้ำมันเกรดศูนย์ยังช่วยขจัดความเสี่ยงจากการสะสมของส่วนผสมระหว่างน้ำมันกับอากาศภายในท่อซึ่งอาจก่อให้เกิดไฟไหม้ ส่งผลให้สายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ที่มีมูลค่าสูงได้รับการประกันความมั่นคงของระบบสาธารณูปโภคอย่างน่าเชื่อถือยิ่งขึ้น

ข้อเสนอแนะด้านการเลือกและกำหนดค่าระบบงานโรงงาน

เนื่องจากโครงการเซมิคอนดักเตอร์มีลักษณะเฉพาะตัว ระบบสนับสนุนโรงงานจึงจำเป็นต้องให้ความสำคัญเป็นพิเศษกับคุณภาพของอากาศอัด ความเสถียรในการทำงาน และประสิทธิภาพการประหยัดพลังงานของเครื่องอัดอากาศแบบไม่ใช้น้ำมัน โดยแนะนำให้ใช้อุปกรณ์ที่ผสมผสานเทคโนโลยีการอัดอากาศหลายขั้นตอนเข้ากับระบบระบายความร้อนที่มีประสิทธิภาพสูง พร้อมติดตั้งระบบทำให้แห้งและระบบปรับปรุงคุณภาพอากาศหลังการอัดอย่างครบถ้วน เพื่อให้มั่นใจว่าค่าจุดน้ำค้าง แรงดัน และระดับความสะอาดของอากาศอัดที่ส่งไปยังจุดใช้งานสุดท้าย ล้วนเป็นไปตามมาตรฐานที่เข้มงวดของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์