ข้อกำหนดของระบบอัดอากาศแบบไร้น้ำมันที่ใช้ในโรงงานผลิตเซมิคอนดักเตอร์
การผลิตเซมิคอนดักเตอร์มีข้อกำหนดด้านความสะอาดของอากาศอัดที่สูงมาก โดยอนุภาคที่ปนเปื้อนน้ำมันอาจทำให้สายการผลิตเวเฟอร์เกิดการปนเปื้อนได้ คอมเพรสเซอร์สกรูลูกปืนแบบไร้น้ำมันจึงกลายเป็นอุปกรณ์จ่ายลมหลักสำหรับห้องสะอาด เนื่องจากออกแบบมาให้หล่อลื่นด้วยน้ำมันโดยสิ้นเชิง ในพื้นที่หนานทง อุปกรณ์ประเภทนี้จำเป็นต้องสอดคล้องอย่างเคร่งครัดกับมาตรฐาน ISO 8573-1 ระดับ 0 เพื่อรับประกันว่าอากาศที่ปล่อยออกมามีปริมาณน้ำมันเป็นศูนย์
ขั้นตอนสำคัญในการปรับตั้งเครื่องอัดอากาศ
- การสอบเทียบพารามิเตอร์ด้านความดัน/อุณหภูมิของระบบทางเดินอากาศและระบบทำความเย็น
- การตรวจวัดเฟสของเกียร์ซิงโครไนซ์ของโฮสต์และความห่างระหว่างโรเตอร์
- การตรวจสอบตรรกะการควบคุมร่วมระหว่างเครื่องทำลมแห้ง ตัวกรอง และปั๊มลม
- การทดสอบอัตราการรั่วของท่อสะอาด ≤0.1% /ชั่วโมง)
ความผิดปกติที่พบบ่อยและประเด็นสำคัญในการซ่อมบำรุง
ขณะเดินเครื่อง หากพบอุณหภูมิไอเสียสูงผิดปกติ ความดันผันผวนรุนแรง หรือค่าจุดน้ำค้างเกินมาตรฐาน ให้ตรวจสอบอย่างละเอียดในประเด็นสำคัญ ได้แก่ การอุดตันของไส้กรองอากาศขาเข้า ประสิทธิภาพพัดลมระบายความร้อนลดลง ความสึกหรอของตลับลูกปืนแบบแม่นยำ และการดริฟต์ของเซ็นเซอร์ในระบบควบคุม การซ่อมบำรุงต้องดำเนินการในสภาพแวดล้อมที่สะอาด ชิ้นส่วนซีลและไส้กรองทั้งหมดต้องเป็นไปตามข้อกำหนดด้านระดับความสะอาด เพื่อหลีกเลี่ยงการปนเปื้อนซ้ำ
รองรับบริการปรับให้เหมาะสมตามท้องถิ่น
นครหนานทงและพื้นที่โดยรอบมีการกระจุกตัวของสายการผลิตเซมิคอนดักเตอร์อย่างเข้มข้น ความสามารถในการปรับเทียบและการซ่อมบำรุงภาคสนามแบบตอบสนองรวดเร็วจึงมีความสำคัญยิ่ง ขอแนะนำให้จัดตั้งระบบเฝ้าติดตามสภาพการทำงานเป็นประจำ โดยผสานการวิเคราะห์แนวโน้มของข้อมูลด้านการสั่นสะเทือน อุณหภูมิ และกระแสไฟฟ้า เพื่อระบุความเสี่ยงของการเสียหายที่อาจเกิดขึ้นล่วงหน้า พร้อมทั้งรับประกันความต่อเนื่องและความเสถียรของการจ่ายก๊าซในสายการผลิต