การจำแนกประเภทพื้นฐานของระบบลมอัดในโรงงานผลิตชิป
ในกระบวนการผลิตเซมิคอนดักเตอร์ อากาศอัดถือเป็นแหล่งพลังงานที่ขาดไม่ได้ ระบบอากาศอัดของโรงงานผลิตชิปมักจะแบ่งออกตามวัตถุประสงค์และการกำหนดคุณภาพ โดยมีดังนี้อากาศสะอาดแห้ง (CDA)และอากาศสำหรับเครื่องมือวัด (IA)แบ่งออกเป็นสองประเภทใหญ่ ซึ่งอากาศแต่ละประเภทมีความแตกต่างอย่างชัดเจนในด้านความดัน จุดน้ำค้าง ปริมาณน้ำมัน และการควบคุมอนุภาค สิ่งเหล่านี้กำหนดให้ต้องใช้กลยุทธ์การจ่ายอากาศแบบแยกความดัน
ทำไมโรงงานผลิตชิปจึงต้องจ่ายก๊าซแบบแยกแรงดัน?
- ตอบสนองความต้องการด้านอุปกรณ์ที่หลากหลาย:ภายในโรงงานผลิตชิปมีอุปกรณ์จำนวนมาก ตั้งแต่อุปกรณ์สนับสนุนขนาดใหญ่ไปจนถึงวาล์วระบบนิวเมติกขนาดเล็ก โดยแต่ละชนิดมีค่าความดันทำงานที่กำหนดแตกต่างกัน การจ่ายอากาศแรงดันสูงแบบเดียวกันอาจทำให้อุปกรณ์แรงดันต่ำเสียหายได้ ในขณะที่การจ่ายอากาศแรงดันต่ำแบบเดียวกันก็ไม่สามารถตอบสนองความต้องการพลังงานของอุปกรณ์แรงดันสูงได้เช่นกัน
- หลีกเลี่ยงการสิ้นเปลืองพลังงาน:หากทั้งโรงงานใช้ระบบจ่ายอากาศแรงดันสูงเพียงแบบเดียว อุปกรณ์ปลายทางที่ต้องการแรงดันต่ำจำเป็นต้องผ่านวาล์วลดแรงดัน ซึ่งทำให้เกิดการสูญเสียพลังงานลมอัดจำนวนมากโดยเปล่าประโยชน์ การจ่ายอากาศแบบแยกแรงดันสามารถกำหนดระดับแรงดันได้ตามความต้องการของระบบท่อในพื้นที่จริง ส่งผลให้ลดแรงดันลมออกของคอมเพรสเซอร์ลงอย่างมีนัยสำคัญ และช่วยประหยัดพลังงานไฟฟ้าได้
- รับประกันความเสถียรของแรงดัน:กระบวนการผลิตที่มีความแม่นยำสูงมีความไวต่อการผันผวนของแรงดันแหล่งจ่ายอากาศเป็นอย่างมาก การจ่ายอากาศแบบแยกส่วนสามารถแยกโซนการใช้งานที่แตกต่างกันออกจากกัน ช่วยป้องกันไม่ให้การเปลี่ยนแปลงปริมาณการใช้งานในพื้นที่ใดพื้นที่หนึ่งส่งผลกระทบต่อแรงดันในระบบท่อส่งทั่วทั้งโรงงาน และรักษาแรงดันของอากาศสำหรับเครื่องมือวัดและอุปกรณ์กระบวนการสำคัญให้คงที่อย่างต่อเนื่อง
วิธีการดำเนินการจ่ายก๊าซแบบแบ่งแรงดันและการออกแบบโครงข่ายท่อส่งก๊าซ
ในการออกแบบระบบโรงงานจริง การจ่ายอากาศแบบแยกแรงดันมักดำเนินการผ่านสถานีลดแรงดันหลายขั้นและโครงข่ายท่อแบบวงแหวน โดยก๊าซความดันสูงที่ออกจากห้องเครื่องอัดอากาศจะเข้าสู่ก่อนเป็นอันดับแรกสถานีลดความดันหลักจากนั้น เมื่อปรับลดแรงดันเป็นระดับปานกลางแล้ว จะถูกส่งไปยังโรงงานผลิตต่าง ๆ ภายในโรงงานหรือบริเวณใกล้กลุ่มอุปกรณ์เฉพาะ จึงจะติดตั้งอีกครั้งชุดวาล์วลดความดันแบบพื้นที่หรือวาล์วลดความดันปลายทางปรับแรงดันให้ตรงตามค่ากำหนดที่อุปกรณ์ต้องการอย่างแม่นยำ
นอกจากนี้ สำหรับระบบอากาศสำหรับเครื่องมือวัด เนื่องจากมีหน้าที่ควบคุมวาล์วปรับอัตราการไหลและอุปกรณ์ล็อกความปลอดภัยต่างๆ ของระบบสนับสนุนโรงงานโดยตรง โดยทั่วไปจึงใช้วงจรลดแรงดันแบบแยกส่วน และติดตั้งวาล์วลดแรงดันพร้อมตัวกรองสำรอง เพื่อให้มั่นใจว่าแม้ในสภาวะการทำงานสุดขีด ก็ยังสามารถจ่ายแหล่งกำเนิดอากาศแรงดันต่ำที่เสถียรและสะอาดได้
ความสำคัญของการจ่ายก๊าซแบบแบ่งแรงดันต่ออัตราผลตอบแทนและต้นทุน
การผลิตชิปเป็นอุตสาหกรรมที่ใช้ทุนและเทคโนโลยีอย่างเข้มข้นโดยแท้จริง ความผันผวนเพียงเล็กน้อยของสภาพแวดล้อมก็อาจส่งผลให้อัตราผลตอบแทนของแผ่นเวเฟอร์ลดลงได้ การออกแบบระบบจ่ายอากาศแบบแยกแรงดันที่เหมาะสมไม่เพียงแต่ช่วยมอบแหล่งพลังงานที่เหมาะสมและมีเสถียรภาพให้แก่อุปกรณ์ความแม่นยำสูง ลดปัญหาเครื่องจักรหยุดทำงานหรือความเบี่ยงเบนของกระบวนการที่เกิดจากความผิดปกติของแรงดันอากาศเท่านั้น หากยังสามารถลดการใช้พลังงานโดยรวมของระบบอัดอากาศได้อย่างมากผ่านการปรับปรุงประสิทธิภาพของแรงดันในระบบท่อส่งลม ดังนั้น การจ่ายอากาศแบบแยกแรงดันจึงไม่เพียงเป็นความต้องการทางเทคนิคเท่านั้น แต่ยังเป็นมาตรการสำคัญที่โรงงานผลิตชิปใช้เพื่อบรรลุการผลิตแบบลีนและการควบคุมต้นทุนอีกด้วย
ยังไม่มีความคิดเห็นยินดีต้อนรับสู่การคว้าโซฟา ~